Leak calibration by comparison with reference standard leaks

Author:

Hidalgo J.M.,de Segovia J.L.

Publisher

Elsevier BV

Subject

Surfaces, Coatings and Films,Condensed Matter Physics,Instrumentation

Reference7 articles.

1. See Standards EN3192 and ISO 3530; 1979.

2. Leak detection, calibrations and reference flows: practical example;Calcatelli;Vacuum,2007

3. Method for vacuum leak calibration. AVS 2.1 Rev, 1973.

4. Helium leak detectors: from laboratory device to dedicated industrial leak units;Bley;Vacuum,1993

5. Recommended practices for calibration and use of leaks;Ehrlich;J Vac Sci Technol A,1992

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