1. The technique of sputtering sensitive thermocouples;Harris;Rev. Sci. Instrum.,1934
2. Insert-mounted thin film sensors for real-time monitoring of tool conditions;Robbins;Thin Solid Films,1988
3. S. Biehl, Entwicklung von Dünnschichtsensoren auf Basis piezoresistiver Kohlen-wasserstoffschichten (PhD thesis), TU Braunschweig, Germany, 2010.
4. F. Schmaljohann, F. Löffler, D. Hagedorn, Verfahren zum Herstellen eines elektronischen Bauteils und elektronisches Bauteil, Patent DE, 10 2012 020149 B4, 2018.
5. Strukturgrößen unter 10 µm wirtschaftlich fertigen;Aurich;Maschinenmarkt,2010