High-resolution thin-film temperature sensor arrays for medical applications

Author:

Urban G.,Jachimowicz A.,Kohl F.,Kuttner H.,Olcaytug F.,Kamper H.,Pittner F.,Mann-Buxbaum E.,Schalkhammer T.,Prohaska O.,Schönauer M.

Publisher

Elsevier BV

Subject

Electrical and Electronic Engineering,Metals and Alloys,Surfaces, Coatings and Films,Condensed Matter Physics,Instrumentation,Electronic, Optical and Magnetic Materials

Reference12 articles.

1. Thin-film temperature sensors for biological measurements;Cain;IEEE Trans. Biomed. Eng. Commun.,1974

2. Dünnschicht-temperaturfühler für Mehrfachmessungen im Kortex;Urban;Funkt. Biol. Med.,1983

3. Thin-film platinum resistance thermometers: fabrication and use;Bolker;J. Vac. Sci. Technol,1977

4. Integrated monolithic temperature sensors for acquisition and regulation;Hosticka;Sensors and Actuators,1984

5. A novel polycrystalline silicon temperature sensor;Ling;Sensors and Actuators,1989

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