LIGA

Author:

Wallrabe Ulrike,Korvink Jan,Mohr Jürgen

Publisher

Elsevier

Reference68 articles.

1. Abel S 1996 Charakterisierung von Materialien zur Fertigung elektromagnetischer Mikroaktoren in LIGA-Technik. PhD thesis, University of Kaiserlautern

2. Charakterisierung von Materialien zur Fertigung elektromagnetischer Mikroaktoren in LIGA-Technik;Abel,1996

3. Fabrication of RF MEMS variable capacitors by deep X-ray lithography and electroplating;Achenbach;Microsyst. Technol.,2007

4. Structure quality of high aspect ratio sub micron polymer structures patterned at the Electron Storage Ring ANKA;Achenbach;J. Vacuum Sci. Technol. B,2004

5. Achenbach S, Pantenburg F J, Mohr J 2000 Optimierung der Prozessbedingungen zur Herstellung von Mikrostrukturen durch ultratiefe Röntgenlithographie (UDXRL). FZKA 6576, Forschungszentrum Karlsruhe

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