Ultrafast Si-based MSM mesa photodetectors with optical waveguide connection

Author:

Buchal Ch,Löken M,Siegert M,Roelofs A,Kappius L,Mantl S

Publisher

Elsevier BV

Subject

Mechanical Engineering,Mechanics of Materials,Condensed Matter Physics,General Materials Science

Reference10 articles.

1. Silicon-based optoelectronics;Soref;Proceedings of the IEEE,1993

2. Coffa S, Tsybeskov L, editors. Silicon-based optoelectronics. MRS-Bulletin 1998;23(4):16.

3. Cunningham JE, Coffa S, Polman A, Soref RA, editors. Materials and devices for silicon-based optoelectronics. Materials Research Society Symposium Proceedings, Pittsburgh, PA, 1998. p. 486.

4. Picosecond silicon metal-semiconductor-metal photodiode

5. A 75 GHz silicon metal‐semiconductor‐metal Schottky photodiode

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