Laser-induced fluorescence spectroscopy of SiF produced by IR multiple-photon dissociation of SiF4

Author:

Popov V.K.,Rossberg M.,Strube W.,Wollbrandt J.,Linke E.

Publisher

Elsevier BV

Subject

Inorganic Chemistry,Organic Chemistry,Spectroscopy,Analytical Chemistry

Reference9 articles.

1. LIF Detection of CF and CF2 Radicals in a CF4/O2 Plasma;Booth;Appl. Phys. Lett.,1987

2. LIF of the SiCl2 Radical;Suzuki;Chem. Phys. Lett.,1986

3. LIF Detection of SiH2 Produced in IR MPD of Organosilanes;Thoman;Chem. Phys. Lett.,1986

4. LIF study of Si etching Process: Detection of SiF2 and CF2 Radicals;Matsumi;J. Appl. Phys.,1986

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1. Molecular constants of FSi X 2Π fluorosilylidyne;Landolt-Börnstein - Group II Molecules and Radicals;2021

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