The plasma beam ion source
Author:
Publisher
Elsevier BV
Subject
Instrumentation,Nuclear and High Energy Physics
Reference10 articles.
1. R.W. Müller, Annual Rep. on Inertial Fusion 1981, GSI 81-3.
2. B. Badger et al., HIBALL II,KFK-3840.
3. R.W. Müller et al., Proc. 1984 Linear Accelerator Conf., Seeheim, GSI Rep. 84-11 and GSI-84-4.
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1. Design study of an energy-variable RF-accelerator for ion implantation;Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms;1994-05
2. An Implantation System for MeV-mA Ion-Beams;Ion Implantation Technology–92;1993
3. Operating principle of the plasma beam ion source;Review of Scientific Instruments;1990-01
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