a-SiN0.58:H/a-SiN0.72: H superlattices prepared by ion beam assisted reactive deposition
Author:
Publisher
Elsevier BV
Subject
Materials Chemistry,Condensed Matter Physics,Ceramics and Composites,Electronic, Optical and Magnetic Materials
Reference22 articles.
1. Amorphous Semiconductor Superlattices
2. Properties of amorphous semiconductinga−Si:Ha−SiNx:Hmultilayer films and ofa−SiNx:Halloys
3. On the blue-shift of the optical bandgap of a-Si:H/a-SiNx:H multilayer structures
4. Optical and electrical properties of a-Si3N4:H/a-Si:H superlattices prepared by plasma-enhanced nitridation technique
5. Recent experimental results on a-Si:H/a-Ge:H superlattice structures
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