Nanosheet field effect transistors-A next generation device to keep Moore's law alive: An intensive study

Author:

Ajayan J.,Nirmal D.,Tayal ShubhamORCID,Bhattacharya SandipORCID,Arivazhagan L.,Fletcher A.S. Augustine,Murugapandiyan P.ORCID,Ajitha D.

Publisher

Elsevier BV

Subject

General Engineering

Reference78 articles.

1. Performance trade-offs in finfet and gate-all-around device architectures for 7nm-node and beyond;Kim,2015

2. Stacked nanosheet gate-all-around transistor to enable scaling beyond finfet;Loubet,2017

3. Device exploration of nanosheet transistors for sub-7-nm technology node;Jang;IEEE Trans. Electron. Dev.,2017

4. Device exploration of nanosheet transistors for sub-7-nm technology node;Jang;IEEE Trans. Electron. Dev.,2017

5. Stacked ge-nanosheet gaafets fabricated by ge/si multilayer epitaxy;Chu;IEEE Electron. Device Lett.,2018

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