A circulating fluidised bed for plasma-enhanced chemical vapor deposition on powders at low temperatures

Author:

Karches M.,Bayer Ch.,Rudolf von Rohr Ph.

Publisher

Elsevier BV

Subject

Materials Chemistry,Surfaces, Coatings and Films,Surfaces and Interfaces,Condensed Matter Physics,General Chemistry

Reference9 articles.

1. Vertical progress of methane conversion in a D.C. plasma fluidized bed reactor

2. VDI-Fortschrittsberichte 5, No. 464;Reuter,1997

3. Deposition of diamond coatings on particles in a microwave plasma-enhanced fluidized bed reactor

4. Fluidization Engineering;Kunii,1991

5. Proceedings of the 1995 9th Int. Conf. Surf. Mod. Tech., Minerals, Metals and Materials Society (TMS);Sherman,1996

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