A brief review of dual-frequency capacitively coupled discharges

Author:

Bi Zhen-hua,Liu Yong-xin,Jiang Wei,Xu Xiang,Wang You-nian

Publisher

Elsevier BV

Subject

General Physics and Astronomy,General Materials Science

Reference133 articles.

1. Principles of Plasma Discharges and Materials Processing;Lieberman,2005

2. plasma Electronics: Applications in Microelectronic Device Fabrication;Makabe,2006

3. Hybrid modelling of low temperature plasmas for fundamental investigations and equipment design

4. Molecular dynamics for low temperature plasma–surface interaction studies

5. Lieberman M A 2005 The 27th International Conference on Phenomena in Ionised Gases (ICPIG XXVII), Eindhoven, the Netherlands. pp. 6–9.

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