Compensation for Errors Introduced by Nonzero Fringe Densities in Phase-Measuring Interferometers

Author:

Evans C.J.,Bryan J.B.

Publisher

Elsevier BV

Subject

Industrial and Manufacturing Engineering,Mechanical Engineering

Reference12 articles.

1. Phase shifting interferometry;Greivenkamp,1991

2. Removal of test optics error;Parks;Proc. SPIE,1976

3. Absolute calibration of an optical flat;Fritz;Optical Engineering,1984

4. Precise measurement of planeness;Schultz;Applied Optics,1967

5. Ai C. & Wyant J.C. 1992, Absolute testing of flats decomposed into even and odd function, Proc SPIE, in press

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