Influence of circular and annular pupil function on Axial Point Spread Function of optical system

Author:

Mikš Antonín,Pokorný Petr

Funder

České Vysoké Učení Technické v Praze

Publisher

Elsevier BV

Subject

Electrical and Electronic Engineering,Atomic and Molecular Physics, and Optics,Electronic, Optical and Magnetic Materials

Reference19 articles.

1. Principles of Optics: Electromagnetic Theory of Propagation, Interference and Diffraction of Light;Born,1999

2. Applied Optics;Mikš,2009

3. Calculation of point-spread function for optical systems with finite value of numerical aperture;Miks;Optik,2006

4. Use of scalar theory in optics;Marathay;J. Opt. Soc. Am.,1970

5. Lithographic tolerances based on vector diffraction theory;Flagello;J. Vacuum Sci. Technol. B,1992

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