Diagnostics and modeling of a hollow-cathode arc deposition plasma

Author:

Buuron A.,Koch F.,Nöthe M.,Bolt H.

Publisher

Elsevier BV

Subject

Materials Chemistry,Surfaces, Coatings and Films,Surfaces and Interfaces,Condensed Matter Physics,General Chemistry

Reference16 articles.

1. Hard amorphous (diamond-like) carbons

2. M. Nöthe, A. Buuron, F. Koch, H. Penkalla, W. Rehbach, H. Bolt, contribution WAP25, this conference.

3. Report Jül-3242;Hemel,1996

4. In situ examination of the plasma processes during the deposition of hard carbon coatings from a low-pressure arc plasma

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