Handling of particles in forevacuum pumps-Reference-Cited by-同舟云学术

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Handling of particles in forevacuum pumps

Published:1990-01 Issue:7-9 Volume:41 Page:1828-1832
ISSN:0042-207X
Container-title:Vacuum
language:en
Short-container-title:Vacuum

Author:

Berges H-P.,Kuhn M.

Publisher

Elsevier BV

Subject

Surfaces, Coatings and Films,Condensed Matter Physics,Instrumentation

Reference9 articles.

1. High Vacuum Production in the Microelectronics Industry;Duval,1988

2. Evaluation of dry pumps vs rotary vane pumps in aluminum etching

3. VDI-Forschungsheft 476;Muschelknautz,1959

4. VDI-Forschungsheft 507;Bohnet,1965

5. VDI-Berichte 169;Wojahn,1971

Cited by 4 articles. 订阅此论文施引文献订阅此论文施引文献，注册后可以免费订阅5篇论文的施引文献，订阅后可以查看论文全部施引文献

1. Verdrängerpumpen;Handbuch Vakuumtechnik;2000

2. Verdrängerpumpen;Handbuch Vakuumtechnik;1997

3. Increased reliability of drypumps due to process related adaptation and prefailure warning;Vacuum;1993-05

4. Verdrängerpumpen;Theorie und Praxis der Vakuumtechnik;1992

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