Metallization for submicron LSI
Author:
Publisher
Elsevier BV
Subject
Surfaces, Coatings and Films,Condensed Matter Physics,Instrumentation
Reference35 articles.
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Cited by 12 articles. 订阅此论文施引文献 订阅此论文施引文献，注册后可以免费订阅5篇论文的施引文献，订阅后可以查看论文全部施引文献
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