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Spectroscopic infrared ellipsometry to determine the structure of layered samples

  • Published:2002-10 Issue:10 Volume:57 Page:1625-1634
  • ISSN:0584-8547
  • Container-title:Spectrochimica Acta Part B: Atomic Spectroscopy
  • language:en
  • Short-container-title:Spectrochimica Acta Part B: Atomic Spectroscopy

Author:

Korte Ernst-Heiner,Hinrichs Karsten,Röseler Arnulf

Publisher

Elsevier BV

Subject

Spectroscopy,Instrumentation,Atomic and Molecular Physics, and Optics,Analytical Chemistry

Reference34 articles.

1. The accurate determination of optical properties by ellipsometry;Aspnes,1985

2. Spectroscopic ellipsometry Chapter 3;Rossow,1996

3. Infrared spectroscopic ellipsometry;Röseler,2001

4. Infrared Spectroscopic Ellipsometry;Röseler,1990

5. MOVPE process development for 650 nm VCSELS using optical in-situ techniques;Zorn;J. Cryst. Growth,2002

Cited by 9 articles. 订阅此论文施引文献 订阅此论文施引文献，注册后可以免费订阅5篇论文的施引文献，订阅后可以查看论文全部施引文献

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