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Design of asynchronous dielectric micromotors

  • Published:1994-09 Issue:2 Volume:33 Page:159-185
  • ISSN:0304-3886
  • Container-title:Journal of Electrostatics
  • language:en
  • Short-container-title:Journal of Electrostatics

Author:

Hagedorn Rolf,Fuhr Günter,Müller Torsten,Schnelle Thomas,Schnakenberg Uwe,Wagner Bernd

Publisher

Elsevier BV

Subject

Electrical and Electronic Engineering,Surfaces, Coatings and Films,Condensed Matter Physics,Biotechnology,Electronic, Optical and Magnetic Materials

Reference45 articles.

1. Polysilicon micro vibromotors;Lee,1992

2. Ferroelectric thin film ultrasonic micromotors;Udayakumar,1991

3. Microfabricated actuator with moving permanent magnet;Wagner,1991

4. Linear and rotational magnetic micromotors fabricated using silicon technology;Wagner,1992

5. A first functional current excited planar rotational magnetic micromotor;Guckel,1993

Cited by 18 articles. 订阅此论文施引文献 订阅此论文施引文献，注册后可以免费订阅5篇论文的施引文献，订阅后可以查看论文全部施引文献

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