A flexible capacitive device for pressure and tactile sensing

Author:

Petropoulos Anastasios,Kaltsas Grigoris,Goustouridis Dimitrios,Gogolides Evangelos

Publisher

Elsevier BV

Subject

General Medicine

Reference7 articles.

1. Marvelous MEMs: Advanced IC sensors and microstructures for high volume applications;Bryzek;IEEE Circuits and Devices Magazine,2006

2. A batch-fabricated silicon capacitive pressure transducer with low temperature sensitivity;Lee;IEEE Trans. Electron Devices ED,1982

3. Capacitive sensors: when and how to use them;Puers;Sens. Actuat A-Phys,1993

4. A miniature self-aligned pressure sensing element;Goustouridis;J. Micromech. Microeng.,1996

5. The science and engineering of microelectronic fabrication;Cambell,2001

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