Epitaxial oxides on silicon grown by molecular beam epitaxy

Author:

Droopad Ravi,Yu Zhiyi,Ramdani Jamal,Hilt Lyndee,Curless Jay,Overgaard Corey,Edwards John L,Finder Jeff,Eisenbeiser Kurt,Wang Jun,Kaushik V,Ngyuen B-Y,Ooms Bill

Publisher

Elsevier BV

Subject

Materials Chemistry,Inorganic Chemistry,Condensed Matter Physics

Reference28 articles.

1. C. Hu, IEDM Tech. Dig. (1996) 319.

2. Transistor characteristics with Ta/sub 2/O/sub 5/ gate dielectric

3. X. Guo, X. Wang, Z. Juo, T.P. Ma, T. Tamagawa, IEDM Tech. Dig. (1999) 137.

4. W.-J. Qi, R. Nieh, B.H. Lee, L. Kang, Y. Jeong, K. Onishi, T. Ngai, S. Banerjee, J.C. Lee, IEDM Tech. Dig. (1999) 145.

5. B.H. Lee, L. Kang, W.-J. Qi, R. Nieh, Y. Jeong, K. Onishi, J.C. Lee, IEDM Tech. Dig. (1999) 133.

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