TiSi2/Si interface instability in plasma-assisted chemical vapor deposition of titanium

Author:

Ohshita Y.,Oshida M.,Seki M.,Watanabe K.

Publisher

Elsevier BV

Subject

Materials Chemistry,Inorganic Chemistry,Condensed Matter Physics

Reference4 articles.

1. M.S. Ameen, J.T. Hillman, J. Faguet, R.F. Foster, C. Arena, F. Martin, in: R. Blulmenthal, G. Janssen (Eds.), Advanced Metallization for ULSI Applications in 1994, Mater. Res. Proc., Pittsburg, PA, 1995, p. 269.

2. T. Akahori, T. Murakami, Y. Morioka, in: VMIC'93, VLSI Multilevel Interconnection Conf., 1993, p. 405.

3. Modeling of agglomeration in polycrystalline thin films: Application to TiSi2on a silicon substrate

4. Y. Ohshita, K. Watanabe, Proc. 4th Int. Conf. and EUROCVD-11, Electrochemical Society Proceeding, vol. 97-25, 1997, p. 171.

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