Numerical modeling of the electrical properties plasma argon in a RF magnetron sputtering and with Einstein's relation of electron diffusivity

Author:

Ballah Z.,Khelfaoui F.

Publisher

Elsevier BV

Subject

Multidisciplinary

Reference25 articles.

1. Modélisation numérique des propriétés électriques dans un pulvérisateur cathodique magnétron;Ballah;Annales de la Faculté des Sciences et Sciences de l’Ingénieur.,2009

2. Modélisation particulaire et multidimensionnelle des décharges hors équilibre à basse pression excitées par champs électromagnétiques;Benyoucef,2011

3. Self-consistent particle modeling of radio frequency discharge in Ar/O2mixtures: effects of crossed electric and magnetic fields and partial pressure;Benyoucef;J. Appl. Phys.,2011

4. Hybrid Monte Carlo-fluid model of a direct current glow discharge;Bogaerts;J. Appl. Phys.,1995

5. Fluid mode of order two in a 1Dand 2D of a glow discharge;Bouchikhi,2010

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