The oxidation of tantalum-based thin films

Author:

Kolonits V.P.,Czermann M.,Geszti O.,Menyhárd M.

Publisher

Elsevier BV

Subject

Materials Chemistry,Metals and Alloys,Surfaces, Coatings and Films,Surfaces and Interfaces,Electronic, Optical and Magnetic Materials

Reference15 articles.

1. The oxidation of metals;Lawless;Rep. Prog. Phys.,1974

2. Effect of alloying materials on thermal stability and TCR-value of resistor films with Ta-basis

3. Proc. 3rd Eur. Conf. on Surface Science;Kolonits,1980

4. Handbook of Auger Electron Spectroscopy;Palmberg,1972

5. Structure of Tantalum Nitrides

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