Investigation of the influence of the main error sources on the capacitive displacement measurements with cylindrical artefacts

Author:

Nouira Hichem,Vissiere Alain,Damak Mohamed,David Jean-Marie

Publisher

Elsevier BV

Subject

General Engineering

Reference26 articles.

1. Le programme de recherche et de développement en nanométrologie;Ducourtieux,2003

2. Application d’une nouvelle conception d’architecture à une machine de mesure de résolution nanométrique;Lahousse;Revue Française de Métrologie,2005

3. Gredja RD. Use and calibration of ultra precision axes of rotation with nanometer level metrology. PhD thesis, Penn State University; 2002.

4. Precision spindle metrology;Marsh,2008

5. Application of capacitance techniques in sensor design;Heerens;Journal of Physics E – Scientific Instruments,1986

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