Silicon-on-insulator
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Publisher
Elsevier
Reference29 articles.
1. Efficient production of silicon-on-insulator films by co-implantation of He+ with H+;Agarwal;Appl. Phys. Lett,1998
2. The effect of hydrogen implantation induced stress on GaP single crystals;Ascheron;Nucl. Instrum. Methods Phys. Res,1987
3. Proton Beam Modifications of selected AIIIBV compounds;Ascheron;Phys. Stat. Solidi (a),1991
4. Silicon on insulator material technology;Bruel;Electron Lett,1995
5. Silicon-on-insulator Technology: Materials to VLSI;Colinge,1997
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