A special silicon diaphragm pressure sensor with high output and high accuracy

Author:

Shimazoe Michitaka,Matsuoka Yoshitaka,Yasukawa Akio,Tanabe Masanori

Publisher

Elsevier BV

Subject

General Engineering

Reference8 articles.

1. Analysis of the non-linear characteristics of a semiconductor pressure sensor;Nishihara;Trans. SICE (Japan),1981

2. Silicon diffused-element piezoresistive diaphragms;Tufte;J. Appl. Phys.,1962

3. An IC piezoresistive pressur sensor for biomedical instrumentation;Wise;IEEE Trans.,1973

4. Piezoresistive Properties of Silicon Diffused Layers

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