Athermal and Tunable Operation of VCSELs with Micromachined Structure
Author:
Affiliation:
1. P&I Lab., Tokyo Institute of Technology
2. Semiconductor MEMS Process Center, Tokyo Institute of Technology
Publisher
Laser Society of Japan
Link
https://www.jstage.jst.go.jp/article/lsj/43/7/43_458/_pdf
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