1. 李保强, 陈金, 刘文迪, 等. 半导体用钨硅薄膜的制备技术及应用研究进展[J]. 中国钨业, 2020, 35(3): 48-55.
2. 肖华鹏. 基于等离激元结构柔性非晶硅薄膜太阳能电池的研究[D]: [硕士学位论文]. 南京: 南京理工大学, 2015: 2-13.
3. 于世海, 黄思佳. “一带一路”倡议下我国光伏产品出口策略与前景研究[J]. 广西质量监督导报, 2021(2): 191-195.
4. 刘莉. PECVD制备掺杂纳晶硅薄膜的性能研究[D]: [硕士学位论文]. 长沙: 湖南师范大学, 2016: 1-10.
5. 唐彬, 袁明权, 彭勃, 等. 单晶硅各向异性湿法刻蚀的研究进展[J]. 微纳电子技术, 2013, 50(5): 327-333.