High-purity Refractory Metals for Thin Film Metallization of VLSI

Author:

Glebovsky Vadim

Publisher

InTech

Reference32 articles.

1. Benzing WC. Shrinking VLSI dimensions demand new interconnection materials. Electronics. 1982;55(17):116-119

2. Ortner HM, Wilhartitz P, Grasserbauer M, Virag A, Friedbacher G. Ultrapurity in metallurgy—Facts and fiction. Kontakte (Darmstadt). 1987;3:3-7

3. Ortner HM, Bloedorn W, Friedbacher G, Grasserbauer M, Krivan V, Virag A, Wilhartitz P, Wuensch G. Ultrapurity in metallurgy—With special reference to refractory metals application in microelectronics. Kontakte (Darmstadt). 1988;3:38-52

4. Iwata S, Yamamoto N, Kobayashi N, Tereda T, Mizutani T. A new tungsten gate process for VLSI applications. IEEE Transactions on Electron Devices. 1984;31(9):1174-1179

5. Yamamoto N, Kume H, Iwata S, Yagi K, Kobayashi N, Mori N, Miyazaki H. Fabrication of highly reliable gate MOS VLSI’s. Journal of Electrochemical Society. 1986;133(2):401-407

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