ESD process assessment of 2.5D and 3D bonding technologies

Author:

Simicic Marko1,Gijbels Frank1,Iacovo Serena1,Chen Shih-Hung1,Van Der Plas Geert1,Beyne Eric1

Affiliation:

1. Imec,Leuven,Belgium,3001

Publisher

IEEE

Reference15 articles.

1. Wafer-Level LICCDM Device Testing

2. JS-002-2022 - Charged Device Model (CDM)-Device Level,2022

3. ESD mitigation for 3D IC hybrid bonding;lin;EOS/ESD,2023

4. Capacitive Discharge to Ground of a Flat Metal Disk with a Pin Contact

5. Insights into Scaled Logic Devices Connected from Both Wafer Sides

Cited by 1 articles. 订阅此论文施引文献 订阅此论文施引文献,注册后可以免费订阅5篇论文的施引文献,订阅后可以查看论文全部施引文献

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