Ultra Pure Water and Functionalized Ultra Pure Water-Reference-Cited by-同舟云学术

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Ultra Pure Water and Functionalized Ultra Pure Water

Published:2010 Issue:4 Volume:59 Page:265-272
ISSN:0525-1931
Container-title:BUNSEKI KAGAKU
language:en
Short-container-title:Bunseki kagaku

Author:

Yamanaka Koji¹

Affiliation:

1. Organo Corporation, R & D Center

Publisher

Japan Society for Analytical Chemistry

Subject

Analytical Chemistry

Link

http://www.jstage.jst.go.jp/article/bunsekikagaku/59/4/59_4_265/_pdf

Reference12 articles.

1. 1) ITRS (International Technology Roadmap of Semiconductor), <http://www.itrs.net/Links/2008ITRS/Update/2008Tables_CROSSCUT.xls>.

2. 2) 久保田昌治 : "超純水の科学",第4章超純水の物性,半導体基板技術研究会編,44 (1990), (リアライズ社).

3. 3) R. K. Iler : "Chemistry of Silica : Solubility, Polymerization, Colloid and Surface Properties and Biochemistry", p. 3 (1979), (Wiley-Interscience).

4. 4) オルガノ株式会社超純水編集委員会編 : "超純水",p. 1 (1991).

5. For the Advanced Ultra Pure Water-Ion Adsorption Membrane.

Cited by 1 articles. 订阅此论文施引文献订阅此论文施引文献，注册后可以免费订阅5篇论文的施引文献，订阅后可以查看论文全部施引文献

1. Performance Evaluation of Ion Chromatograph with Direct Supply of Ultrapure Water;BUNSEKI KAGAKU;2019-04-05

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