Author:
Liu Yan-Yan ,Bauer-Grosse E. ,Zhang Qing-Yu ,
Abstract
采用微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)技术，在甲烷和氢气的混合气体中，通过掺入微量氮气的方法，合成了掺氮金刚石薄膜.利用扫描电子显微镜、拉曼光谱和透射电子显微镜对薄膜的形貌和结构进行了表征.研究结果表明：处于基片中心位置的薄膜具有比较高的成核密度，成核密度高达4.8×108 cm-2，并且具有〈001〉的择优取向，晶粒呈立方金刚石特征，但沿{111}晶面生长时存在大量层错.处于基片边缘的薄膜成核密度较低，晶粒为6H型多型金刚石结构，而且多型金刚石的出现，导致金刚石孪晶关系的变化.此外，根据薄膜的生长速率，探讨了MPCVD过程中掺氮对薄膜生长行为的影响.
Publisher
Acta Physica Sinica, Chinese Physical Society and Institute of Physics, Chinese Academy of Sciences
Subject
General Physics and Astronomy
Cited by
2 articles.
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