1. 4) R. Oiwa, T. Ohba, T. Morohashi, K. D. Childs, D. F. Paul and S. P. Clough : MRS symposium proceedings V-15, Advanced Metallization Conference, p 557 (1999)
2. 5) H. Iwai, N. Namba, T. Morohashi, R. E. Negri, A. Ogata, T. Hoshi and R. Oiwa : J. Surf Anal., 5, p 161 (1999)
3. 6) H. Iwai, R. Oiwa, P. E. Larson and M. Kudo : Appl. Surf. Sci., 100/101, p 283 (1996)
4. 7) M. G. Dowsett : Proc. Of Atomic Layer Char acterization ALC 97, Hawai, November, p 25 (1997)
5. 8) A. J. Murrell, et al. : J. Vac. Sci. Technol., B18, p 462 (2000)