Машинное моделирование генерации дефектов примесными комплексами-Reference-Cited by-同舟云学术

Машинное моделирование генерации дефектов примесными комплексами

Published:1980 Issue: Volume: Page:
ISSN:
Container-title:
language:
Short-container-title:

Author:

Соловйов Володимир Миколайович,Тимошенко Т. Г.

Abstract

Рассчитаны равновесные конфигурации дефектной области в кремнии в окрестности комплексов, содержащих фосфор и алюминий. Найдена возможность генерации комплексом (Al1 + V) точечных дефектов. Эти механизмы чувствительны к конфигурациям о повернутыми связями. Полученные результаты использованы для уточнения механизмов миграции примесей III и V групп в Si, а также расшифровки процессов естественного старения полупроводников и полупроводниковых приборов.

Publisher

ЛИЯФ

Reference4 articles.

1. 1. А.Е. Кив , B.Н. Соловьев . В сб . "Методические материалы по машинному моделированию дефектов в кристаллах", 59 , Кривой Рог , 1978.

2. 2 . 3. А. Искандерова, А.Е. Кив , В.Н. Соловьев, ФТП. 11 , 199 (1977),

3. 3 . В.Л. Инденбом. Письма в ЖТФ, 5 , 489 (1979).

4. 4. A.Е. Kіv , V.H. Soloviev, Phys. Stat. Sol.(b), 94, K91(1979).