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Structural and electrical characterization of epitaxial Ge thin films on Si(001) formed by sputtering

  • Published:2017-02-09 Issue:4S Volume:56 Page:04CB01
  • ISSN:0021-4922
  • Container-title:Japanese Journal of Applied Physics
  • language:
  • Short-container-title:Jpn. J. Appl. Phys.

Author:

Otsuka Shintaro,Mori Takahiro,Morita Yukinori,Uchida Noriyuki,Liu Yongxun,O’uchi Shin-ichi,Fuketa Hiroshi,Migita Shinji,Masahara Meishoku,Matsukawa Takashi

Publisher

IOP Publishing

Subject

General Physics and Astronomy,Physics and Astronomy (miscellaneous),General Engineering
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