ВЫБОР ТЕРМОМЕХАНИЧЕСКОГО РЕЖИМА ФОРМОВАНИЯ МИШЕНЕЙ ИЗ ПОРОШКА TiO2 ДЛЯ МАГНЕТРОННОГО НАНЕСЕНИЯ КОМПОЗИЦИОННЫХ ПОКРЫТИЙ ДЕТАЛЕЙ

Abstract

Пленочные покрытия на основе диоксида титана для деталей приборостроения с целью уменьшения их сопротивления целесообразно изготавливать из композиций с другими оксидами. Композиции желательно получать на этапе нанесения покрытия методом, в котором используют магнетроны. Сопоставлением конструкций магнетронных установок обоснована рациональность применения установки с одним магнетроном, оснащенным мишенью из композиции порошков на основе титана. Технология нанесения покрытия с использованием одного магнетрона, оснащенного композиционной мишенью, раскрыта на примере нанесения износостойких самосмазывающихся покрытий из композиции Ti+WS2. Для оснащения магнетрона мишенью из порошка TiO2 ставилась задача обеспечения наибольшей равномерности распределения плотности в объеме мишени, а также достижения наибольшего значения этой плотности. В результате описанного в статье исследования технологии горячего формования порошка TiO2 показана эффективность совмещения нагрева порошка с его уплотнением в одну операцию. При выполнении этой операции экспериментально исследована зависимость плотности изготавливаемой мишени от температуры формования, давления, времени выдержки под давлением и размера зерен. Обоснован выбранный термомеханический режим формования мишени из порошка TiO2. Изготовить мишень с наибольшей плотностьюпозволяет следующий режим (в исследованном диапазоне) формования: температура 1300 °С, давление 40 МПа, время выдержки под давлением 20 мин, размер зерна 2,2 мкм.