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Initial results for a quadrupole mass spectrometer with a silicon micromachined mass filter

  • Published:1998 Issue:6 Volume:34 Page:546
  • ISSN:0013-5194
  • Container-title:Electronics Letters
  • language:en
  • Short-container-title:Electron. Lett.

Author:

Taylor S.,Tunstall J.J.,Syms R.R.A.,Tate T.,Ahmad M.M.

Publisher

Institution of Engineering and Technology (IET)

Subject

Electrical and Electronic Engineering

Reference7 articles.

1. Dawson, P.H.: ‘Quadrupole mass spectrometry and its applications’, (AIP New York 1995)

2. Quadropole gas analysers

3. Taylor, S., Syms, R.R.A., Dorey, H.A., and Tate, T.J.: ‘Improvements in and relating to quadrupole mass spectrometers’, British, (9, 506, 972)

4. Fabrication of a microengineered quadrupole electrostatic lens

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