Squeeze Film Absolute Pressure Sensors with Sub-Millipascal Sensitivity

Author:

Salimi Mohsen,Nielsen Robin V.,Pedersen Henrik,Dantan Aurelien

Publisher

Elsevier BV

Reference29 articles.

1. An ultra-sensitive, highvacuum absolute capacitive pressure sensor;Yafan Zhang;Technical Digest. MEMS 2001. 14th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems,2001

2. Pressure sensing with high-finesse monolithic buckled-dome microcavities;S Al-Sumaidae;Appl. Opt,2021

3. Nano-optomechanical resonators for sensitive pressure sensing;Yanping Chen;ACS Appl. Mater. Interfaces,2022

4. Q-factor and frequency shift of resonating silicon diaphragms in air;Albert Prak;Sensors and Actuators A: Physical,1991

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