Some Properties of Metal Organic Chemical Vapour Deposited (MOCVD) Manganese Nitride Thin Films (MnxNy) Using A Single Precursor of Tetraamminebis-(hexamethylenetetrammine)Manganese(II) Chloride [Mn(HMTA)2(NH3)4]Cl2
Author:
Publisher
Elsevier BV
Reference24 articles.
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