Hydrogen Gas Diffusion Influences Cavity Pressure of Encapsulated Inertial Sensors

Author:

Kopf Marlene,Mogor-Györffy Robert,Breitling Achim

Publisher

Elsevier BV

Subject

General Earth and Planetary Sciences,General Environmental Science

Reference28 articles.

1. Resonant pitch and roll silicon gyroscopes with sub-micron-gap slanted electrodes: Breaking the barrier toward high-performance monolithic inertial measurement units;Haoran Wen;Microsystems & nanoengineering,2017

2. Wafer-Bonding for MEMS -Status and Trends;Ralf Hausner;ECS Transactions,2014

3. Structure-air damping coupling analysis of micromachined gyroscope;Weihui Wang;2013 14th International Conference on Electronic Packaging Technology,2013

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