Metallographische Präparation von dotiertem Tantal für licht- und rasterelektronenmikroskopische Mikrostrukturuntersuchungen

Author:

Mayer Svea1,Pölzl Silvia1,Hawranek Gerhard1,Bischof Michael1,Scheu Christina1,Clemens Helmut1,Knabl Wolfram2

Affiliation:

1. Montanuniversität Leoben, Department Metallkunde und Werkstoffprüfung, Franz-Josef-Straße 18, 8700 Leoben, Österreich

2. PLANSEE Aktiengesellschaft, Hochleistungswerkstoffe, Entwicklung Hochschmelzende Metalle, 6600 Reutte, Österreich

Abstract

Kurzfassung Dünne kornwachstumsresistente Tantaldrähte werden zur Herstellung von elektrischen Tantalkondensatoren verwendet. Um den Herstellungsprozess zu optimieren, ist es wichtig, die Mikrostruktur von dotiertem Tantal nach unterschiedlichen Herstell- bzw. Wärmebehandlungsschritten zu untersuchen. Dies setzt jedoch voraus, dass eine geeignete artefaktfreie Präparationsmethode für dotiertes Tantal vorliegt, beziehungsweise die bestehenden Methoden verbessert werden. In der vorliegenden Arbeit werden optimierte Präparationsmethoden für licht- und rasterelektronenmikroskopische Untersuchungen vorgestellt. Neben der Beschreibung der Probenpräparation wird auch auf die wichtigsten Ergebnisse der anschließenden mikrostrukturellen Untersuchungen eingegangen.

Publisher

Walter de Gruyter GmbH

Subject

Metals and Alloys,Mechanics of Materials,Condensed Matter Physics,Electronic, Optical and Magnetic Materials

Reference11 articles.

1. Z. Metallkunde,2004

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