1. 1) Hers, M., Wackerle, M., Bucher, M., Horsh, D., Lass, J., Lang, M. & Richter, N.:Proc. Actuator, (2008).
2. 2) Shiratori, T., Aizawa, T., Sugita, Y. & Aihara, T.:8th AWMFT, (2016), 209-212.
3. 3) Nikkan Kogyo Shimbun:“Daiken iki, micro-pump mass production”, (2014), December, 4.
4. 4) Ohashi, O. & Suga, S.:J. Jpn. Inst. Met., 56 (1992), 579-585.
5. 5) Rhodino, T. N.:CORROSION., 12 (1953), 41-53.