Author:
Kim H J,Matsuo K,Muraoka K,Akazaki M
Subject
Surfaces, Coatings and Films,Acoustics and Ultrasonics,Condensed Matter Physics,Electronic, Optical and Magnetic Materials
Cited by
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1. Literaturhinweise;Optische in situ Meßtechniken bei der Entwicklung und Anwendung von plasmaunterstützten Oberflächentechniken für räumlich ausgedehnte und komplexe Geometrien;1998