Abstract
Bu çalışmada, mikro boşluklu düzlemsel anot/katot elektrot plakalı atmosfer altı basınçta DC -beslemeli gaz deşarj-yarıiletken mikro plazma sistemlerin (GDSµPS) temel karakteristik özellikleri COMSOL Multifizik simülasyon platformunda incelendi. Modelde alüminyum galyum antimonid (AlGaSb) katot elektrot, ITO/SiO2 anot elektrot, 100 µm gaz deşarj aralığına sahip mikro plazma hücresi modellendi. Plazma reaktör ortamında 150 Torr basınç seviyesinde argon (Ar) ve molar 5% kısmi hidrojen karışımlı argon (Ar/H2) tanımlandı. Micro plazma hücresi 1,0 kV DC sabit gerilim altında beslendi. Model, elektron yoğunluğu, elektron enerji yoğunluğu, elektron akım yoğunluğu ve elektrik potansiyeli dahil olmak üzere çeşitli deşarj parametrelerinin uzaysal-zamansal dinamiklerini çözerek AlGaSb-Ar/H2 glow deşarj mikro plazma sisteminin geçiş fiziksel özelliklerini anlamak için simüle edildi. Uygulamaya özel hibrit mikro plazma – yarı iletken tabanlı kızılötesi fotodetektör cihazlarının modellenmesinde argona bir miktar hidrojen ilavesinin etkili bir araç olarak kullanılabileceği gözlemlenmiştir.