Röntgenographische Untersuchungen an aufgedampften Nickelfilmen

Abstract

Nickelfilme mit Schichtdicken zwischen 100 und 4000 Å wurden unter verschiedenen Bedingungen auf Tempaxglasträger aufgedampft und anschließend mit Hilfe eines Texturanalysators röntgenographisch untersucht. Es zeigt sich, daß die Textureigenschaften der Filme in starkem Maße von der Schichtdicke und der Temperungstemperatur abhängig sind. Während die Kristallite in den schwach getemperten Filmen keine merkliche Vorzugsorientierung aufweisen, findet man bei den hoch getemperten Filmen eine 〈111〉-Fasertextur, die besonders bei großen Schichtdicken stark ausgeprägt ist. Sie kann darauf zurückgeführt werden, daß während des Temperns die nach {111} orientierten Kristallite unter dem Einfluß des unterschiedlichen thermischen Ausdehnungskoeffizienten von Film und Unterlage bevorzugt wachsen.