Erfahrungen mit Metallfolien als Hochvakuumdichtungen

Abstract

Abstract Es werden die Erfahrungen mit lösbaren und ausheizbaren, vakuumdichten Flanschverbindungen beschrieben, bei denen Metallbleche, insbesondere Aluminiumbleche, als Dichtungsfolien Verwendung finden. Form und Dimensionierung der Flansche und die Behandlung der Dichtungsfolien, die sich bei zuverlässigen Dichtungen in jahrelangem Betrieb bewährt haben, werden angegeben. Aluminiumbleche zwischen Messingflanschen können bis 280° C erhitzt werden, ohne undicht zu werden.