Affiliation:
1. Fachgebiet Messtechnik, Universität Kassel, Wilhelmshöher Allee 71, Kassel , Germany
Abstract
Zusammenfassung
Die Kohärenz-Scanning- Interferometrie ist eine berührungslose optische Messmethode zur hochauflösenden dreidimensionalen Charakterisierung von Oberflächentopographien. Um die laterale Auflösung eines Interferenzmikroskops zu verbessern, wurde erstmals ein Linnik-Interferometer mit hochaperturigen Immersionsobjektiven aufgebaut und zur Messung technischer Oberflächen eingesetzt. Diese Studie zeigt den Einfluss eines Immersionsmediums zur Verbesserung der lateralen Auflösung und vergleicht Immersions- und Nicht-Immersionssysteme in Bezug auf Signalbildung und Übertragungsverhalten im dreidimensionalen Ortsfrequenzraum. Die Messergebnisse von transparenten AMONIL®-Gittern zeigen eine signifikante Verbesserung der Signalqualität im Vergleich zum Nicht- Immersionssystem. Außerdem werden Messergebnisse von Halbkugeln vorgestellt, die durch Substrate Sonformal Imprint Lithography substrukturiert wurden.