Tiefenscannende Interferometrie mit Unterabtastung in Kombination mit einem neuartigem RGB-Doppelpuls-Korrelations- Algorithmus zur Topographieerfassung

Abstract

Zusammenfassung In diesem Beitrag wird ein Messsystem vorgestellt, das auf einem tiefenscannenden Micheslon-RGB-Interferometer zur Erfassung von 3DMikrotopographien beruht. Bei der Messung des Interferenzsignals wird bewusst das Nyquist-Shannon- Abtasttheorem verletzt, so dass die Messgeschwindigkeit im Vergleich zu einem klassischen Weißlichtinterferometer (WLI) signifikant erhöht werden kann, ohne auf die Vorteile des WLI, wie einen großen Eindeutigkeitsbereich und axialen Messbereich, verzichten zu müssen. Das RGBInterferometer wird mit einem Auswertealgorithmus kombiniert, der die Oberflächentopographie durch eine Korrelationsanalyse zwischen einem Mess- und einem Referenzsignal mit Nanometer-Höhenauflösung bestimmen kann. Der Messprozess wird anhand eines Stufenmessnormals experimentell validiert.