Resolution enhancement through nearfield-assistance in interference microscopy-Reference-Cited by-同舟云学术

Resolution enhancement through nearfield-assistance in interference microscopy

Published:2020-08-28 Issue:s1 Volume:87 Page:s28-s33
ISSN:2196-7113
Container-title:tm - Technisches Messen
language:en
Short-container-title:

Author:

Hüser Lucie¹,Lehmann Peter¹

Affiliation:

1. Fachgebiet Messtechnik, Fachbereich Elektrotechnik/Informatik, Universität Kassel , Wilhelmshöher Allee 71, 34121 Kassel , Germany

Abstract

Zusammenfassung Um die Grenzen der optischen Messtechnik zu erweitern und feinere Strukturen messbar zu machen, wurden verschiedene Systeme in der aktuellen Forschung publiziert. Es wurde gezeigt, dass im Nahfeld aufgebrachte Mikrokugeln die Auflösung eines interferometrischen Messsystems verbessern und Strukturen unterhalb Abbe’s Beugungsgrenze sichtbar machen können. In dieser Studie werden Messergebnisse mit einem hochauflösenden Linnik-Interferometer unterhalb der Auflösungsgrenze gezeigt. Des Weiteren werden simulative Analysen zum Phasenverhalten im Nahfeld der Mikrokugeln vorgestellt, um die theoretische Erklärung des superauflösenden Verhaltens von Mikrokugeln und die bildgebenden Prozesse des Systems zu ermöglichen.

Publisher

Walter de Gruyter GmbH

Subject

Electrical and Electronic Engineering,Instrumentation

Link

https://www.degruyter.com/document/doi/10.1515/teme-2020-0013/pdf

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