Affiliation:
1. Institut für Photonische Technologien e.V. (IPHT), Jena
Abstract
Zusammenfassung
Eine Luftbrückenstruktur wurde entwickelt, auf der ein
Dünnschicht-Thermoelement angeordnet ist. Dieses Thermoelement
dient als Abschlusswiderstand einer Antenne und gleichzeitig als
Temperatursensor [1]. Die Brückenstruktur wurde
mittels Oberflächenmikromechanik hergestellt. Die thermischen
Eigenschaften der Luftbrückenstruktur wurden durch
Computersimulationen untersucht, und basierend auf diesen
Ergebnissen wurde eine geeignete Technologie entwickelt, um eine
hochleistungsfähige thermoelektrische Terahertz-Sensorstruktur
herzustellen. Die Messung der elektrischen Empfindlichkeit dieser
Thermoelement-Luftbrückenstruktur ergab eine NEP von
18 pW/Hz1/2 unter Vakuumbedingungen und von
67 pW/Hz1/2 an Luft.
Subject
Electrical and Electronic Engineering,Instrumentation